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填空題消除或減小結(jié)構(gòu)諧振的技術(shù)措施是（）和（）。

1.填空題可靠性指標(biāo)是指可靠性量化分析的尺度，包括（）、（）、（）、（）、（）。

2.填空題常用下列指標(biāo)描述步進(jìn)電機(jī)的工作性能：（）、（）、（）、（）、（）。

3.填空題光柵主要由（）和（）組成，通常，（）固定在活動部件上（如工作臺或絲杠），（）安裝在固定部件上。

4.填空題感應(yīng)同步器是一種應(yīng)用電磁感應(yīng)原理來測量（）的高精度檢測元件，分為（）和（）。直線式由定尺和滑尺組成，表面有正弦繞組和余弦繞組，當(dāng)余弦繞組與定尺繞組位移相同時，正弦繞組與定尺繞組錯開（）節(jié)距。

5.填空題PLC從工作過程上說分成三個階段，即（）、（）、（）。