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判斷題離子的質(zhì)量遠(yuǎn)大于電子，故離子束加工的生產(chǎn)率比電子束高，但表面粗糙度稍差。

1.判斷題離子束加工和電子束加工類似，主要是利用高速運(yùn)動(dòng)的離子撞擊工件表面轉(zhuǎn)換成熱能來蝕除金屬。

2.填空題通常所說的“三束加工”（高能束）是指（）和（）

3.填空題（）加工是目前特種加工工藝方法中最精密、最微細(xì)的加工方法。

4.填空題離子束撞擊工件將引起變形、分離、嵌入、破壞等（）作用，而不像電子束是通過（）效應(yīng)進(jìn)行加工。

5.填空題在電子工業(yè)中，離子注入成為了微電子工藝中的一種重要的（），也是控制MOSFET閾值電壓的一個(gè)重要手段。