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填空題利用正電壓效應(yīng)，可制作（）、（）等，利用逆壓電效應(yīng)，可制作（）、超聲波發(fā)生器等。

1.填空題電容式傳感器是將被測(cè)量的變化轉(zhuǎn)換成電容量變化的一種傳感器，主要類(lèi)型有：極距變化型、（）等。

2.填空題差動(dòng)變壓器式傳感器的工作原理是（），故也稱其為（）傳感器。

3.填空題自感式傳感器通過(guò)改變（）、（）和（），從而改變線圈的自感量，可將該類(lèi)傳感器分為（）、改變隙面積式和螺旋管式。氣

4.填空題壓電式傳感器常用的壓電材料有（）、（）等。

5.填空題壓電式傳感器有（）、（）等，參量式傳感器有（）、（）、（）等。