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填空題影響電火花加工精度的主要因素有：（）及其一致性、（）及其穩(wěn)定性和（）。

1.填空題電火花加工型腔工具電極常用的材料有：（）、（）、（）等。

2.填空題實(shí)現(xiàn)超精密加工的關(guān)鍵是（），對(duì)刀具性能的要求是：（）、（）、刀刃無(wú)缺陷、與工件材料的抗粘接性好，摩擦系數(shù)低。

3.填空題超聲波加工主要是利用（）作用來(lái)去除材料的，同時(shí)產(chǎn)生的液壓沖擊和空化現(xiàn)象也加速了蝕除效果，故適于加工（）材料。

4.填空題目前金剛石刀具主要用于（）材料的精密與超精密車削加工，而對(duì)于（）材料的精密與超精密加工，則主要應(yīng)用精密和超精密磨料加工。

5.填空題電火花加工蝕除金屬材料的微觀物理過(guò)程可分為（）、（）、（）和（）四個(gè)階段。