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填空題變極距型電容傳感器做成差動(dòng)結(jié)構(gòu)后，靈敏度提高原來的2倍。而非線性（）轉(zhuǎn)化為平方反比關(guān)系而得以大大降低。

1.填空題變極距型電容傳感器做成差動(dòng)結(jié)構(gòu)后，靈敏度提高原來的（）倍。

2.填空題移動(dòng)電容式傳感器動(dòng)極板，導(dǎo)致兩極板有效覆蓋面積A發(fā)生變化的同時(shí)，將導(dǎo)致電容量變化，傳感器電容改變量ΔC與動(dòng)極板水平位移成線性關(guān)系、與動(dòng)極板角位移成（）關(guān)系。

3.填空題移動(dòng)電容式傳感器動(dòng)極板，導(dǎo)致兩極板有效覆蓋面積A發(fā)生變化的同時(shí)，將導(dǎo)致電容量變化，傳感器電容改變量ΔC與動(dòng)極板水平位移成（）關(guān)系。

4.填空題變極距型電容式傳感器單位輸入位移所引起的靈敏度與兩極板初始間距成（）關(guān)系。

5.填空題電容式傳感器利用了將非電量的變化轉(zhuǎn)換為（）的變化來實(shí)現(xiàn)對物理量的測量。