問(wèn)答題試簡(jiǎn)述LIGA技術(shù)的原理、特點(diǎn)及主要工藝。

參考答案： 原理：LIGA技術(shù)的機(jī)理是由深層X(jué)射線光刻、電鑄成形及塑注成形三個(gè)工藝組成。在用LIGA技術(shù)進(jìn)行光刻過(guò)程中，一張預(yù)先制作...