問(wèn)答題有一臺(tái)變間隙非接觸式電容測(cè)微儀,其傳感器的極板半徑r=5mm,假設(shè)與被測(cè)工件的初始間隙d0=0.5mm。已知試真空的介電常數(shù)等于8.854×10-12F/m,求:如果傳感器與工件的間隙變化量增大△d=10μm,電容變化量為多少?
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