多項選擇題在堿性氯化銅蝕刻中,造成蝕刻不足的原因可能有()。
A.傳送速度太快
B.pH值太低
C.蝕刻液溫度不足
D.噴淋壓力不足
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1.多項選擇題堿性蝕刻液再生方法有()。
A.結晶法
B.萃取法
C.中和法
D.空氣再生法
2.多項選擇題酸性氯化銅蝕刻體系中常用的氯化物的種類為()。
A.氯化鈉
B.氯化氫
C.氯化鈣
D.氯化鎂
3.多項選擇題酸性氯化銅蝕刻若操作體系的溫度太高,會使()。
A.鹽酸揮發(fā)
B.抗蝕層破壞
C.溶液組分比例失調
D.無影響
4.多項選擇題蝕刻過程中為使加速蝕刻反應正向進行的措施有()。
A.增加二價銅離子的濃度
B.使一價銅生成配合物
C.使一價銅生成沉淀
D.減少二價銅離子的濃度
5.多項選擇題板子在蝕刻機內部進行蝕刻時,其位置放置形式有()。
A.水平放置
B.垂直放置
C.45度角放置
D.任意方式放置
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自組裝單分子層(SAM)
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