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名詞解釋SPWM技術(shù)：

是指脈沖的寬度按正弦規(guī)律變化而和正弦波等效的PWM波形。

1.名詞解釋PWM技術(shù)：

控制技術(shù)就是對脈沖的寬度進(jìn)行調(diào)制的技術(shù)，即通過對一系列脈沖的寬度進(jìn)行調(diào)制，來等效的獲得所需要的波形（含形狀和幅值）。

2.名詞解釋全閉環(huán)控制系統(tǒng)：

直接檢測工作臺的位移來控制系統(tǒng)。

3.名詞解釋線性度：

所謂傳感器的線性度是其輸出量與輸入量之間的實(shí)際關(guān)系曲線偏離直線的程度。

4.名詞解釋傳感器：

5.名詞解釋靈敏度：

靈敏度指示器的相對于被測量變化的位移率，靈敏度是衡量物理儀器的一個標(biāo)志。