填空題X射線熒光光譜儀是由（）、（）、（）、（）及（）五個部分組成，此外，還有一個輔助系統(tǒng)，即（）。

參考答案： X射線發(fā)生器（光源）；分光裝置；樣品室；探測器；記錄系統(tǒng)；真空系統(tǒng)