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填空題自動控制系統(tǒng)的執(zhí)行器按能源不同分為（），（）和（）。

1.填空題自動調(diào)節(jié)儀表按所使用的能源不同可分為氣動調(diào)節(jié)儀表，（），電動調(diào)節(jié)儀表和混合式調(diào)節(jié)儀表。

2.填空題轉(zhuǎn)子流量計(jì)的浮子材料可根據(jù)流體的（）性質(zhì)加以選用。

3.填空題差壓式流量計(jì)是利用流體經(jīng)過節(jié)流元件（）來實(shí)現(xiàn)流量測量的。

4.填空題在管道上安裝孔板時，如果將方向裝反了會造成（）。

5.填空題超聲波流量的傳感器由（）和（）組成。