問答題給出使用初級泵和真空泵的理由。

參考答案： 當(dāng)真空里的壓強(qiáng)減低時(shí)，氣體分子間的空間加大了，這成為氣體流過系統(tǒng)及在工藝腔內(nèi)產(chǎn)生等離子體的重要因素。而初級泵可以去除腔內(nèi)...