問(wèn)答題光刻中采用步進(jìn)掃描技術(shù)獲得了什么好處？

參考答案：

增大了曝光場(chǎng)，可以獲得較大的芯片尺寸，一次曝光可以多曝光些芯片，它還具有在整個(gè)掃描過(guò)程調(diào)節(jié)聚焦的能力。