名詞解釋蒸發(fā)鍍膜

參考答案：

加熱蒸發(fā)源，使原子或分子從蒸發(fā)源表面逸出，形成蒸汽流并入射到硅片（襯底）表面，凝結(jié)形成固態(tài)薄膜。