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名詞解釋有限源擴(kuò)散

雜質(zhì)總量恒定；雜質(zhì)分布為高斯函數(shù)分布（Gaussian）；表面濃度隨著時(shí)間下降，結(jié)深隨著時(shí)間增加。

1.名詞解釋雜質(zhì)固溶度

在平衡條件下，雜質(zhì)能溶解在硅中而不發(fā)生反應(yīng)形成分凝相的最大濃度。

2.名詞解釋凈化級別

以大于或等于被考慮的粒子最大濃度限值進(jìn)行劃分的等級標(biāo)準(zhǔn)。

3.名詞解釋干法腐蝕

指利用等離子體激活的化學(xué)反應(yīng)或者利用高能粒子束轟擊完成除去物質(zhì)的方法。

4.名詞解釋濕法腐蝕

通過使用特定的溶液與需要被腐蝕的薄膜材料進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，進(jìn)而除去沒有被光刻膠覆蓋區(qū)域的薄膜。

5.名詞解釋閾值曝光量

使膠膜完全溶解所需最小的曝光量。