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問答題什么是干法刻蝕？干法有幾種刻蝕方法？

1.問答題什么是刻蝕？

刻蝕即光刻腐蝕，就是通過光刻將光刻膠進(jìn)行光刻曝光處理，然后通過其他方式實(shí)現(xiàn)腐蝕以處理掉所需除去的部分。

2.問答題濕法刻蝕有什么缺點(diǎn)？

抗蝕劑中的小窗口會(huì)由于毛細(xì)作用而使得接觸孔不能被有效浸潤、被分解的材料不能被有效從反應(yīng)區(qū)中清除。

3.問答題什么是濕法刻蝕？

濕法刻蝕首先要用含有可以分解表面薄層的反應(yīng)物的溶液浸潤刻蝕面；

4.問答題淀積的主要作用是什么？

生成器件制造所需的材料

5.問答題為什么說柵氧化層的生長是非常重要的一道工序？

氧化層的厚度決定了晶體管的電流驅(qū)動(dòng)能力和可靠性，其精度必須控制在幾個(gè)百分點(diǎn)以內(nèi)。