判斷題側蝕情況是可以完全避免的。
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3.多項選擇題在酸性氯化銅蝕刻液體系的再生方法中，由于氯氣是強氧化劑，直接通氯氣是再生的最好方法。是因為（）。
A.成本低
B.再生速率快
C.無污染
D.設備簡單
4.多項選擇題在酸性氯化銅蝕刻過程出現(xiàn)抗蝕劑破壞的原因可能有（）。
A.溶液溫度過高
B.溶液被污染
C.顯影有余膠
D.傳遞速度過快
5.多項選擇題影響等離子體蝕刻特性好壞的因素包括以下幾個方面（）。
A.等離子體蝕刻系統(tǒng)的形態(tài)
B.等離子體蝕刻的參數(shù)
C.光刻膠
D.待蝕刻薄膜的淀積參數(shù)條件
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