問答題離子注入的主要缺點(diǎn)是什么？如何克服？

參考答案： 1、高能雜質(zhì)離子轟擊硅原子將對晶體結(jié)構(gòu)產(chǎn)生損傷。（高溫退火進(jìn)行修復(fù)）。
2、注入設(shè)備的復(fù)雜性。（被注入機(jī)對劑量...