多項(xiàng)選擇題鳥嘴效應(yīng)造成的不良影響有（）。

A.有效柵寬變窄
B.電流減少
C.電容增加
D.電阻增大


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1.多項(xiàng)選擇題消除鳥嘴效應(yīng)的方法有（）。

A.選擇合適的掩蔽膜
B.在氧化前，將窗口處的硅腐蝕掉深度，再進(jìn)行局部氧化
C.退火
D.高壓氧化工藝

2.單項(xiàng)選擇題濕氧氧化采用的氧化水溫是（）。

A.95度
B.90度
C.80度
D.75度

5.單項(xiàng)選擇題如下哪個(gè)選項(xiàng)不是半導(dǎo)體器件制備過程中的主要污染物？（）

A.化學(xué)物質(zhì)
B.金屬離子
C.融解的氧氣
D.細(xì)菌