填空題在硅片上熱氧化0.5μm厚的氧化層時(shí)，硅片增厚了（）μm。

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3.多項(xiàng)選擇題關(guān)于鋁膜下列哪種說法正確？（）

A.耐腐蝕性好
B.與硅接觸可能出現(xiàn)尖楔現(xiàn)象
C.抗電遷移性差
D.穩(wěn)定性好

4.多項(xiàng)選擇題

看圖判斷，下列哪種描述正確？（）

A.圖（b）是注入的低能離子
B.圖（b）是注入的高能離子
C.圖（a）是注入的低能離子
D.圖（a）是注入的高能離子