單項選擇題在溫度相同的情況下，制備相同厚度的氧化層，分別用干氧，濕氧和水汽氧化，哪個需要的時間最長？（）

A、干氧
B、濕氧
C、水汽氧化
D、不能確定哪個使用的時間長


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1.單項選擇題恒定表面源擴散的雜質(zhì)分布在數(shù)學(xué)上稱為什么分布？（）

A.高斯函數(shù)
B.余誤差函數(shù)
C.指數(shù)函數(shù)
D.線性函數(shù)

2.單項選擇題從離子源引出的是：（）

A、原子束
B、分子束
C、中子束
D、離子束

5.多項選擇題硅外延片的應(yīng)用包括（）。

A.二極管和三極管
B.電力電子器件
C.大規(guī)模集成電路
D.超大規(guī)模集成電路