問(wèn)答題

若計(jì)劃用圖示中掩膜版上黑色區(qū)域在硅片上制作擴(kuò)散區(qū),光刻時(shí)需要使用哪種光刻膠?為什么?并簡(jiǎn)介光刻操作流程。


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