問答題簡述RTP在集成電路制造中的常見應(yīng)用。

參考答案： 1）雜質(zhì)的快速熱激活RTP工藝最具吸引力的的熱點(diǎn)之一是晶圓片不用達(dá)到熱平衡狀態(tài)，意味著電活性的有效摻雜實(shí)際上可以超過固溶...