名詞解釋有限表面源擴(kuò)散

參考答案：

擴(kuò)散開始時(shí)，表面放入一定量的雜質(zhì)源，而在以后的擴(kuò)散過(guò)程中不再有雜質(zhì)加入，此種擴(kuò)散稱為有限源擴(kuò)散。