問答題簡(jiǎn)述硅柵p阱CMOS的光刻步驟。

參考答案：

P阱光刻，光刻有源區(qū)，光刻多晶硅，P+區(qū)光刻，N+區(qū)光刻，光刻接觸孔，光刻鋁線。