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問答題簡單敘述一下pn結(jié)隔離的NPN晶體管的光刻步驟。

1.問答題在制作晶體管的時候，襯底材料電阻率的選取對器件有何影響是？

電阻率過大將增大集電極串聯(lián)電阻，擴大飽和壓降，若過小耐壓低，結(jié)電容增大，且外延時下推大。

2.問答題簡述四層三結(jié)的結(jié)構(gòu)的雙極型晶體管中隱埋層的作用。

減小集電極串聯(lián)電阻，減小寄生PNP管的影響。

3.問答題什么是特征尺寸？它對集成電路工藝有何影響？

4.問答題按電路功能或信號類型分，半導(dǎo)體集成電路分為哪幾類？

5.問答題按照器件類型分，半導(dǎo)體集成電路分為哪幾類？

雙極型（BJT）集成電路，單極型（MOS）集成電路，Bi-CMOS型集成電路。