最新試題
描述曝光波長和圖像分辨率之間的關(guān)系。
題型:問答題
離子源的目的是什么?最常用的離子源是什么?
題型:問答題
例舉離子注入設(shè)備的5個主要子系統(tǒng)。
題型:問答題
例舉并描述光刻中使用的兩種曝光光源。
題型:問答題
解釋掃描投影光刻機是怎樣工作的?掃描投影光刻機努力解決什么問題?
題型:問答題
描述電子回旋共振(ECR)。
題型:問答題
解釋正性光刻和負(fù)性光刻的區(qū)別?為什么正膠是普遍使用的光刻膠?最常用的正膠是指哪些膠?
題型:問答題
在硅片制造中光刻膠的兩種目的是什么?
題型:問答題
例舉出兩種光刻膠顯影方法。例舉出7種光刻膠顯影參數(shù)。
題型:問答題
例舉并描出旋轉(zhuǎn)涂膠的4個基本步驟。
題型:問答題