問(wèn)答題下圖為直流等離子放電的I-V曲線，請(qǐng)分別寫出a-g各段的名稱?？捎米靼雽?dǎo)體制造工藝中離子轟擊的是其中哪一段？試解釋其工作原理。
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定義刻蝕速率并描述它的計(jì)算公式。為什么希望有高的刻蝕速率？
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