問(wèn)答題如果光波長(zhǎng)減小分辨率會(huì)有什么變化，如果NA增加了呢？
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當(dāng)許多損傷區(qū)連在一起時(shí)就會(huì)形成連續(xù)的非晶層，開(kāi)始形成連續(xù)非晶層的注入劑量稱為（）。
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CMP的設(shè)備構(gòu)成包括（）。
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