半導體芯片制造工章節(jié)練習(2019.06.25)
來源：考試資料網(wǎng)
參考答案：復雜可編程邏輯器件；現(xiàn)場可編程門陣列 參考答案：1）溫度高溫區(qū)B區(qū)，生長速率對溫度的變化不敏感，生長速率由氣相質量輸運控制，并且對反應室的幾何形狀和氣流有很大的依賴性。... 參考答案：結晶形SiO2——由Si-O四面體在空間規(guī)則排列構成每個頂角的O原子與兩個... 參考答案：熱氧化層中可能存在各種雜質，某些最常見的雜質是與水有關的化合物，其結構如圖所示。如果氧化層在生長中有水存在，一種可能發(fā)生... 參考答案：物理氣相淀積：蒸發(fā)Evaporation、濺射Sputtering熱蒸發(fā)法：在真空條件下，加熱蒸發(fā)源，使原子或分子從蒸發(fā)... 參考答案：RTP工藝是一類單片熱處理工藝，其目的是通過縮短熱處理時間和溫度或只縮短熱處理時間來獲得最小的工藝熱預算（Thermal...
