半導(dǎo)體芯片制造工章節(jié)練習(xí)(2020.04.12)
來源:考試資料網(wǎng)參考答案:操作人員的質(zhì)量職責(zé)是:(1)按規(guī)定接受培訓(xùn)考核,以達(dá)到所要求的技能、能力和知識(shí);(2)嚴(yán)格按工藝規(guī)范和工藝文件進(jìn)行操作,...
參考答案:半導(dǎo)體質(zhì)量測量定義了硅片制造的規(guī)范要求,以確保滿足器件的性能和可靠性。
集成電路制造中的12種不同的質(zhì)量測量:<...
集成電路制造中的12種不同的質(zhì)量測量:<...
3.問答題什么是薄膜?
參考答案:薄膜:指某一維尺寸遠(yuǎn)小于另外兩維上的尺寸的固體物質(zhì)。
好的臺(tái)階覆蓋能力 、高的深寬比填隙能力(>3:...
好的臺(tái)階覆蓋能力 、高的深寬比填隙能力(>3:...
8.問答題
采用CF4作為氣體源對SiO2進(jìn)行刻蝕,在進(jìn)氣中分別加入O2或H2對刻蝕速率有什么影響?隨著O2或H2進(jìn)氣量的增加,對Si和SiO2刻蝕選擇性怎樣變化?為什么?
參考答案:離子;能量;退火處理