半導(dǎo)體芯片制造工半導(dǎo)體芯片制造高級工章節(jié)練習(xí)(2019.04.26)
來源:考試資料網(wǎng)參考答案:不夠;質(zhì)量差
參考答案:替位;間隙
8.問答題單晶片切割的質(zhì)量要求有哪些?
參考答案:
晶向偏離度總厚度誤差,平衡度,翹曲度等
10.問答題有哪幾種常用的化學(xué)氣相淀積薄膜的方法?
參考答案:
常壓化學(xué)氣相淀積(APCVD.,
低壓化學(xué)氣相淀積(LPCVD.,
等離子體輔助CVD。