半導(dǎo)體芯片制造工章節(jié)練習(xí)(2019.06.25)
來(lái)源:考試資料網(wǎng)參考答案:光刻膠;洗液
參考答案:擴(kuò)散效應(yīng)是指襯底中的雜質(zhì)與外延層中的雜質(zhì),在外延生長(zhǎng)時(shí)互相擴(kuò)散,引起襯底與外延層界面附近雜質(zhì)濃度的緩慢變化。擴(kuò)散效應(yīng)對(duì)界...
參考答案:結(jié)晶形SiO2——由Si-O四面體在空間規(guī)則排列構(gòu)成每個(gè)頂角的O原子與兩個(gè)...
8.問(wèn)答題什么是固相外延(SPE)及固相外延中存在的問(wèn)題?
參考答案:固相外延是指半導(dǎo)體單晶上的非晶層在低于該材料的熔點(diǎn)或共晶點(diǎn)溫度下外延再結(jié)晶的過(guò)程。固相外延存在問(wèn)題—&mda...
參考答案:元素;化合物
參考答案:是否均勻;是否致密;斑點(diǎn);白霧;無(wú)針孔