最新試題
解釋離子束擴展和空間電荷中和。
題型:問答題
解釋正性光刻和負(fù)性光刻的區(qū)別?為什么正膠是普遍使用的光刻膠?最常用的正膠是指哪些膠?
題型:問答題
什么是阻擋層金屬?阻擋層材料的基本特征是什么?哪種金屬常被用作阻擋層金屬?
題型:問答題
敘述氮化硅的濕法化學(xué)去除工藝。
題型:問答題
例舉并解釋硅中固態(tài)雜質(zhì)擴散的三個步驟。
題型:問答題
例舉離子注入工藝和擴散工藝相比的優(yōu)點和缺點。
題型:問答題
例舉雙大馬士革金屬化過程的10個步驟。
題型:問答題
例舉離子注入設(shè)備的5個主要子系統(tǒng)。
題型:問答題
例舉并描述光刻中使用的兩種曝光光源。
題型:問答題
光刻中采用步進掃描技術(shù)獲得了什么好處?
題型:問答題