半導(dǎo)體芯片制造工章節(jié)練習(xí)(2019.11.11)

來源:考試資料網(wǎng)
參考答案:符號(hào)圖;抽象圖;線路圖;版圖
參考答案:擴(kuò)散工藝分類:按原始雜質(zhì)源在室溫下的相態(tài)分類,可分為固態(tài)源擴(kuò)散,液態(tài)源擴(kuò)散和氣態(tài)源擴(kuò)散。固態(tài)源擴(kuò)散(1).開管擴(kuò)散...
參考答案:IC生產(chǎn)過程中的5種不同電學(xué)測(cè)試:
(1)IC設(shè)計(jì)驗(yàn)證:描述、調(diào)試和檢驗(yàn)新的芯片設(shè)計(jì),保證符合規(guī)格要求,是在生...
參考答案:1)雜質(zhì)的快速熱激活RTP工藝最具吸引力的的熱點(diǎn)之一是晶圓片不用達(dá)到熱平衡狀態(tài),意味著電活性的有效摻雜實(shí)際上可以超過固溶...
參考答案:干法刻蝕是采用等離子體進(jìn)行刻蝕的技術(shù),根據(jù)原理分為濺射與離子銑(物理)、等離子刻蝕(化學(xué))、反應(yīng)離子刻蝕(物理+化學(xué))。...
參考答案:①干氧:Si+O2 SiO2
氧化速度慢,氧化層干燥、致...